Конференция с международным участием "Электронно-лучевые технологии" - КЭЛТ- 2019

Country: Russian Federation

City: Черноголовка

Abstr. due: 31.05.2019

Dates: 30.09.19 — 03.10.19

Area Of Sciences: Physics and math; Technical sciences;

Organizing comittee e-mail: giza@iptm.ru

Organizers: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов Росийской Академии Наук (ИПТМ РАН)

 

Мероприятие будет посвящено анализу состояния исследований и разработок в области электронно- и ионно-лучевых технологий и их применений в литографии, наноструктурировании поверхности и получении материалов для микро- и наноэлектроники. Также будут рассмотрены вопросы применения методов электронной, рентгеновской и зондовой микроскопии для анализа материалов и структур электронной техники. Предполагается заслушать сообщения как о новых исследованиях и разработках,  выполняемых в лабораториях институтов РАН и высших учебных заведений, так и обсудить задачи диагностики материалов и структур, стоящие перед учёными и инженерами, работающими в электронной промышленности.

Conference Web-Site: http://purple.ipmt-hpm.ac.ru/ebtm/