Безконтактний інтерференційний 3D профілограф “Мікрон-альфа”

Призначення:

для дослідження мікротопографії поверхні методом обробки послідовності інтерференційних даних при частково когерентному освітленні.

Технічні характеристики:

  • поле сканування (X,Y), мкм……..від 100 до 300
  • роздільна здатність по горизонталі (X,Y), мкм……0,15
  • максимально вимірювана висота (Z), мкм ….40
  • роздільна здатність по вертикалі (Z), нм …….5
  • час сканування, хв………………….............0,1-1

Прилад надає можливість будувати дво- та тривимірне зображення поверхні, кількісно оцінювати характеристики рельєфу, вимірювати товщину тонких плівок, проводити металографічні дослідження.

Рис. 1 (зправа). Зовнішній вигляд профілометра “Мікрон-альфа”.

 

2D (а) і 3D (б) рельєф об’єкт-мікрометра

 

 

Contacts: 
Україна, Інститут фізики напівпровідників НАНУ ім. В. Є. Лашкарьова, Є. Свеженцова (e-mail: [email protected])